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難道發展芯片,就一定要光刻機嗎?中國可以用其它技術取代嗎?

2021-11-14 23:32:30來源:互聯網

    最近,美國收緊了出口管制,臺積電不再接受華為新的訂單,中芯國際雖然能夠生產14nm工藝的芯片,突破了N+1、N+2制程工藝,然而中芯國際使用的光刻機仍然來自于荷蘭ASML,含有“美國技術”,是否受到管制條款制約,還是個問題。那么,我國發展芯片能夠繞過光刻機嗎?

    什么是光刻機?    光刻技術與照相技術差不多,照相機是將鏡頭里的圖像印到底片上,而光刻機是將電路圖“刻到”硅片上。在光刻工藝中,將涂滿光敏膠的硅片作為“底片”,電路圖經過光刻機,縮微投影到“底片”上,制作芯片的過程,就是重復幾十遍這樣的過程。最終,指甲殼大小的芯片上集成了上百億個晶體管。

    目前,光刻機的龍頭企業是荷蘭的ASML,幾乎占領了100%的高端光刻機市場,最先進的EUV光刻機只有荷蘭ASML能夠生產。造價高到1.5億美金的EUV光刻機,集成了全球最先進的技術,來自美國的光源和計量設備,來自德國的鏡頭的超精密設備,來自法國的閥件,來自瑞典的軸承等等,可以說集人類智慧于大成。

    早在2018年,我國的中芯國際從荷蘭ASML那里預訂了一臺EUV光刻機,然而受到美國的影響,至今未收到這臺光刻機。中芯國際雖然突破了N+1、N+2工藝,然而后續的5nm、3nm工藝仍然離不來EUV光刻機,形勢依然很嚴峻。

    我國的光刻機    我國生產光刻機的企業是上海微電子,成立于2002年,由于起步較晚,因此在光刻機領域與荷蘭AMSL仍然有很大的差距。上海微電子能夠量產的光刻機是90nm制程,而荷蘭AMSL最先進的EUV光刻機可以生產5nm工藝制程的芯片,根據科學家的說法“至少有20年的差距”。最新消息,上海微已經突破了28nm工藝的光刻機,大大降低了與荷蘭ASML的差距,希望能夠盡快量產。

    總之,光刻機是半導體行業最重要的設備之一,是“沙子變芯片”最重要的設備。離開光刻機,玩不轉芯片,離開高端光刻機,玩不轉高端芯片。目前,還沒有替代設備能夠代替光刻機。

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